题目内容
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[主观题]
用n型硅单晶片作为衬底制成MOS结构。铝电极面积A=1.6×10-7m2。在150℃下进行负B-T和正B-T处理。分别测得如图所
用n型硅单晶片作为衬底制成MOS结构。铝电极面积A=1.6×10-7m2。在150℃下进行负B-T和正B-T处理。分别测得如图所示的C-V曲线(1)和(2)。求:在硅—二氧化硅界面处的正电荷面密度和二氧化硅中的可动离子的面密度。
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