A.Turret timeout(转盘超时)
B.Failed to connect spectrometer(光谱仪连机失败)
C.Cabinet temperature too low(机箱温度太高)
D.Bad vacuum above warning level(真空超警戒水平)
A.关闭高压、放真空、启动TCM软件、选择第二项M、按F1关闭cap、按F3使Plunger向下,再按F1打开cap。
B.放真空、关闭高压、启动TCM软件、选择第二项M、按F1关闭cap、按F3使Plunger向下,再按F1打开cap。
C.放真空、关闭高压、启动TCM软件、选择第二项M、按F1关闭cap、按F2使Plunger向下,再按F1打开cap。
D.关闭高压、放真空、启动TCM软件、选择第二项M、按F1关闭cap、按F3使Plunger向下,再按F1打开cap。