已知一个投影物镜NA=0.1,所用光波波长λ=0.0005mm。试求实际空间频率Ns=100lp/mm的物理光学理想传
已知一个投影物镜NA=0.1,所用光波波长λ=0.0005mm。试求实际空间频率Ns=100lp/mm的物理光学理想传递函数和几何光学理想传递函数。
已知一个10倍投影物镜,物距l1=-169.54mm,sinU=-0.05,入瞳距第一面距离lz1=-1000mm,所用光波波长λ=0.0005893mm。试分别求用它测量薄形零件(零件厚度趋近于零)和具有一定厚度d的零件时,相对测量误差为多少?如果要求测量具有一定厚度d的零件时相对误差,则lz1应等于多少?
已知一个物镜结构参数如下:
y=-1mm,l1=-48.75mm,sinU=-0.1,Lz1=0
r/mm d/mm nDnFnC
30.2181
3.8946 1.6164 1.62843 1.61159
12.2212
2.7669 1.4874 1.49226 1.48530
-25.1314
根据结构参数及初始数据,试求倍率色差展开式(取两项)。并绘出展开式的倍率色差曲线与光路计算求得的倍率色差曲线相比较,能说明什么问题?
一个显微物镜被观察物体不发光,采用垂直照明,NA=0.25,分别采用远紫外(λ=0.2μm)和D光(λ=0.5893μm)照明物体,试分别求其最小分辨距σ。
已知一个100×显微物镜,n1=1.513,nR'=1,物像共轭距离l'-l=195mm,物方数值孔位NA=n1sinν1=nu1=1.513×0.9=1.3617。试求其像方焦距f'和物方焦距,以及像方孔位角u'。
已知一个投影系统有两个物镜,垂轴放大率分别为-50×和-100×。光学系统物像共轭距离为2000mm,投影屏直径为共轭距离的四分之一,采用物方远心光路。试求两个物镜的焦距、物距、像距及像方视场角2ω'。
注:1—物镜 2—孔径光阑
已知一个显微物镜:L=-100mm,sinU=-0.1,Lz=-0.1mm,y=-10mm。试求主光线和对称于主光线的边缘上、下光线的初始数据:
对下图所示的物镜,试设计一个聚光镜均匀照明物面AB。已知初始条件如下:
a)灯丝到灯丝像之间总长120mm。
b)灯丝成像在物镜1入瞳处,其直径8mm。
c)灯丝直径2mm,灯丝到第一折射面的距离l1(见图)要大于灯丝到灯泡顶点之间距离H,设l1=-12mm。
d)被照明物面AB=4mm,物镜的NA=0.3。